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研究設備

本研究室では、ナノスケールにおける光−物質相互作用を精密に制御・計測するための先端フォトニクス計測・微細加工装置を多数整備しています。
可視から中赤外までの広帯域光源、ナノ構造作製設備、分光・イメージング顕微鏡を統合し、バイオセンシングや機能性ナノデバイス創製に関する独創的研究を推進しています。

分光装置

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フーリエ変換赤外分光装置 (FTIR)

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フーリエ変換赤外分光装置 (FTIR) #2

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スリット走査型ラマン分光顕微鏡

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スリット走査型ラマン分光+暗視野顕微分光装置

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先端増強ラマン分光顕微鏡(TERS)

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中赤外フォトサーマル顕微鏡

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紫外可視分光光度計

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超微量紫外可視分光光度計

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ハイパースペクトル分光システム

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蛍光光度計

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光音響顕微鏡

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分析装置

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走査型レーザー顕微鏡&白色干渉顕微鏡

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​電界放出型走査型電子顕微鏡(FE-SEM)

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原子間力顕微鏡(AFM)&走査型トンネル顕微鏡(STM)

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ナノ粒子イメージングアナライザ

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ゼータ電位計

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分光エリプソメータ

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微細加工装置

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ナノパターン露光装置

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サブフェムトインクジェット加工装置

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レーザーカッター

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スーパーエンプラ3Dプリンタ

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光造形3Dプリンタ

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成膜装置

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電子ビーム真空蒸着装置

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抵抗加熱真空蒸着装置

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原子層堆積(ALD)装置

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オスミウムコーター

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LB膜作製装置

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スピンコーター

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表面改質装置

UVオゾン装置

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​真空プラズマ装置

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大気圧プラズマ装置

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その他(光源, ソフトウェア)

レーザー光源

スーパーコンティニューム白色光源(SuperK Extream, NKT Photonics)

スーパーコンティニューム白色光源(SuperK Compact, NKT Photonics)

中赤外量子カスケードレーザー(Mircat, Daylight Solutions)

中赤外量子カスケードレーザー(Hedgehog, Daylight Solutions)

フェムト秒チタンサファイアレーザー(Tsunami, Spectra Physics)

DPSS CW レーザー(488, 532, 561, 594, 633, 660, 671, 785 nm)

ナノ秒パルスレーザー(Tor XE, Cobolt)

 

計算機

ワークステーション6台(64コア128スレッド, メモリ512G) 

 

ソフトウェア

有限要素法解析(Comsol)

有限差分時間領域法解析(Lumerical)

量子化学計算解析(Gaussian 16)

分子モデリング・材料解析(Materials Studio)

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